在12英寸独立式光学线宽测量设备，12英寸全自动电子束晶圆缺陷复查设备进入客户验证阶段后，精测电子开启了在半导体前道量测检测设备领域的新布局，瞄准了明场缺陷检测设备。

日前，精测电子发布关于控股子公司增资暨关联交易公告，公司控股子公司上海精积微拟引入新的投资者上海装备投，张江燧锋，浦东海望，海宁精海，上海精望，公司实控人彭骞，新的投资者与原股东上海精测拟分别向上海精积微出资2500万元，2500万元，2500万元，5000万元，1亿元，5000万元，2500万元，合计3亿元本次增资完成后，上海精测持有上海精积微的股权比例由100%变更为21.43%鉴于上海精望，彭骞分别同上海精测签署了《股东表决权委托协议》，上海精积微仍为公司合并报表范围内公司

上海精积微本次引入的多名新股东颇有来头比如，上海装备投的股东万业企业，大基金，执行事务合伙人上海半导体装备材料产业投资管理有限公司分别占出资比例的19.8%，19.8%，0.99%，实际控制人为朱旭东，张江燧锋的合伙人包括浦东建设，张江高科，上海浦东科技创新投资基金合伙企业，上海科创中心一期股权投资基金合伙企业等，浦东海望的合伙人包括上海浦东科技创新投资基金合伙企业，浙江韦尔股权投资有限公司等，韦尔股份100%持有浙江韦尔股权投资有限公司

这些资金为什么看好上海精积微精测电子披露，上海精积微现阶段主要聚焦明场晶圆有图形缺陷检测设备领域相关产品的研究开发以及生产制造等

记者了解到，在图形晶圆光学明场缺陷检测领域，KLA—TENCOR等长期垄断全球市场，我国半导体设备厂商在该领域几乎处于空白阶段。其进一步称，半导体检测设备验证周期长短受设备类型，客户要求，现场环境等多方面因素的影响，行业普遍在6-18个月左右；受疫情的影响，原材料供应紧张，关键零部件的交付周期相应延长，目前设备的交付周期普遍在6个月以上，部分国外厂商的交付周期长达12个月以上。。

精测电子表示，此次增资公司放弃部分优先认购权引入不同的战略合作方，有利于上海精积微获得充裕资金，以开展半导体检测领域相关设备的研发及产品化，有利于上海精积微下一阶段的良性发展。

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